技術 – 熱對流MEMS加速度計

美新熱對流MEMS加速度計每年用于數百萬的新汽車、手機、相機、投影儀、家電以及其他應用。

該技術美新公司擁有自主知識產權,美新公司是一家采用標準CMOS 工藝實現MEMS芯片和混合信號處理電路單片集成的慣性傳感器公司。

熱對流MEMS加速度計采用密閉腔室內加熱氣體分子的對流原理,高精度的溫度傳感器能夠檢測由于加速度(或者傾斜)而產生的溫度曲線變化。該技術具有許多獨特性能優勢:

1.沒有移動部件,加速度計的“檢測質量”是加熱的氣體分子。
2.這意味著沒有可探測的諧振,從而使傳感器幾乎不受到任何外部的振動和沖擊。
3.這些設備有非常高的可靠性,具有50,000g的抗沖擊力(優于同類設備一個數量級)。
4.不會出現電容式傳感器機械臂中的“粘滯作用”。
5.熱對流加速度計無論時間和溫度如何變化,都有著超越的0g偏移穩定性,并且幾乎察覺不到任何熱滯現象(許多其他的加速度計一般都會受到影響,并僅限于測量較小加速度值或者傾斜角度)。

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美新技術- 熱對流MEMS加速度計
MEMSIC's Thermal MEMS Accelerometers are used in millions of new automobiles, phones, cameras, projectors, appliances
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